真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
PPSをターゲットに用いた反応性スパッタ法によるポリマー薄膜の作製
柴田 薫, 萩尾 剛, 吉田 久良
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1993 年 36 巻 4 号 p. 424-426

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