真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
負イオン注入における基板帯電モデルとその評価
豊田 啓孝, 辻 博司, 南雲 正二, 酒井 滋樹, 後藤 康仁, 石川 順三, 松田 耕自
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1995 年 38 巻 3 号 p. 224-227

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