真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
円筒マグネトロンスパッタ装置の電極構造の改良
金子 忠夫, 桜井 美恵子, 入戸野 修
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1995 年 38 巻 8 号 p. 714-717

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