全反射中性子線による薄膜中の元素分析法の開発

抄録

X線分析では薄膜中の元素分析を行うため全反射蛍光X線分析法という方法を用いる。これと類似した着想で、全反射中性子線によるガンマ線分析法（Total -reflection Neutron activated Gamma spectroscopy,TN-γ法）を開発している。中性子反射率の測定にあわせ、中性子の核反応で発生したガンマ線を半導体検出器で分析する。蛍光X線では困難な軽元素等の分析を行う。