From molecules to solid: probing the structure of sub-nm ALD materials through in-situ FTIR and synchrotron techniques

日本表面真空学会学術講演会要旨集

Online ISSN : 2434-8589

2019年日本表面真空学会学術講演会

セッションID: 2Ep02

DOI https://doi.org/10.14886/jvss.2019.0_2Ep02

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主催: 日本表面真空学会

10月29日（火）

From molecules to solid: probing the structure of sub-nm ALD materials through in-situ FTIR and synchrotron techniques

*Angel Yanguas-Gil

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