試料ホルダーを用いたその場TEM観察による触媒解析

抄録

透過型電子顕微鏡（TEM）は、原子レベルで観察できる計測技術である。しかし、鏡筒内を真空に保たったままの観察になるため、材料の実働環境下での観察のためには、TEMの観察環境を制御するその場観察技術が必要である。私達も、触媒材料のその場観察のために、ガス雰囲気下で加熱ができるTEM試料ホルダーシステムを構築してきた。本発表では、その試料ホルダーシステムとそれを用いたその場TEM観察例を紹介する。