印刷技術を利用した積層デバイス製造

抄録

プラスチックフィルム表面への溶液プロセスによる酸化物デバイス形成は、基材フィルムを損傷させることなく酸化物の機能を発現できる焼結プロセスにフィットした前駆体材料インクの設計や低温焼結プロセスの開発により実現している。本講演では、前駆体インクの設計指針や、重ね刷り・エッチングレスパターンイングが可能な印刷技術を利用した酸化物積層デバイスの形成技術について紹介する。