低損傷分析条件下で高分解能REELSスペクトルを取得するための分析条件の評価

抄録

AESを用いることで反射電子EELS測定が可能であることは以前から知られてきた。しかしTEMによるEELS測定ほど活発な議論がなされていないのが現状である。今回はAESを用いて得られたEELSスペクトルの，電子銃のエネルギー幅から求められる分解能，実試料測定における分光器の条件を検討した。また透過EELSのスペクトルや通常のオージェ分析と比較し、表面ダメージやそれに伴うスペクトルの変化を考察した。