核反応解析法による非蒸発ゲッター材料への水素の吸収・放出特性の研究

抄録

従来型のTiZrVの非蒸発ゲッター(NEG)材料と最近開発された無酸素Pd/TiのNEG材料について、表面近傍に存在する水素量の変化を¹H (¹⁵N, αγ) ¹²Cの共鳴的な核反応法(NRA)により解析した。水素の深さプロファイルと水素曝露中における膜中のある深さにおける水素量の変化とを異なる水素圧や加熱温度で測定し、異なるNEGについて比較、考察した。