二種類の有機物質積層試料のTOF-SIMSデプスプロファイルにおける情報エントロピーを利用した界面評価

抄録

TOF-SIMSでは、共存物質によるマトリックス効果により、分析結果が複雑化してしまい、定量や界面評価が困難になる課題がある。マトリックス効果の補正方法も提案されているが、補正の適用にはある程度濃度応答性のある二次イオンが必要であり、必ずしも得られるとは限らない。本研究では、二種類の有機物質積層試料における定量や界面評価について、情報エントロピーの応用の可能性を検討した。