シミュレーションモデルの変形によるB-A真空計の比感度係数の変化

抄録

離散的なグリッドの電極モデルを用いて、B-A真空計の比感度係数の有限要素法によるシミュレーションを行った。シミュレーション結果は、グリッドのワイヤーの巻かれる間隔が変化すると比感度係数も変化する可能性を示唆した。