逆X線光電子ホログラフィー（Internal-Detector Electron Holography）は，実験室レベルで特定原子周辺の三次元（3D）原子イメージングを可能にする技術であり，材料や表面科学の分野などにおいて有望な構造解析技術である．本稿では，本技術の原理と走査型電子顕微鏡（SEM）を用いたSrTiO3単結晶の測定結果について紹介する．SPEA-MEMと呼ぶ原子像再生アルゴリズムを用いることにより，軽元素であるO原子も鮮明に再生され，高精度なSrTiO3単結晶の3D原子像が得られた．
