日本電子株式会社
古河電気工業株式会社
2018 年 53 巻 1 号 p. 47-50
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走査透過電子顕微鏡（STEM）において，試料の各電子プローブ位置の回折パターンを2次元画像として記録する検出器をピクセル型STEM検出器と呼ぶ．この検出器は通常のSTEM検出器と異なり試料の回折面上の試料情報を捉えることが出来る為，このデータを処理することで様々なSTEM像を得ることができる．本稿では，我々のグループで開発されたピクセル型STEM検出器のハードウェアと応用データを紹介する．
電子顕微鏡
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