電子顕微鏡
Print ISSN : 0417-0326
CZ-Si中Grown-in欠陥の透過型電子顕微鏡による観察技術
植木 武美, 竹田 忠雄
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キーワード: 透過型電子顕微鏡, 超高圧電顕, Grown-in欠陥, 八面体ボイド欠陥, 断面TEM
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1999 年 34 巻 1 号 p. 61-64

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