低加速電圧SEMとTEMによる金属誘起横方向結晶化SiGe薄膜の観察

顕微鏡

Online ISSN : 2434-2386
Print ISSN : 1349-0958

低加速電圧SEMとTEMによる金属誘起横方向結晶化SiGe薄膜の観察

板倉賢, 桑野範之

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キーワード: 低加速電圧走査電子顕微鏡(LV-SEM), SiGe薄膜, 結晶化, 微細構造解析

ジャーナルフリー

2005 年 40 巻 3 号 p. 196-199

DOI https://doi.org/10.11410/kenbikyo2004.40.196

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