レーザー研究
Online ISSN : 1349-6603
Print ISSN : 0387-0200
ISSN-L : 0387-0200
Lasers and Laser Systems
High Pulse-Energy Green Laser for Laser Annealing System by LD-pumped Nd:YAG Laser
Jun IZAWA, Fumio MATSUZAKA, Kenichirou NISHIDA, Ryuusuke KAWAKAMI, Norihito KAWAGUCHI, Miyuki MASAKI, Masaru MORITA, Atsushi YOSHINOUCHI, Kiyoyuki ODAGIRI, Yoshinori KAWASAKI
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キーワード: Intra-cavity, Annealing, SHG, LD-pumped, LD-pumped, Nd:YAG
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2008 年 36 巻 APLS 号 p. 1089-1091

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抄録
Recently, we have demonstrated high average-power SHG generation by LD-pumped kHz-class pulsed Nd:YAG laser. Using this technique, we have developed a green laser for the YAG Laser Annealing System. We have obtained a green output with high average power (160W) and high pulse-energy (80mJ/pulse). By using an intra-cavity oscillator, a stability of laser beam and efficiency from pumping-LD to the green output are improved on a few times from our recent system with extra-cavity SHG method.
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© Laser Society of Japan
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