レーザー研究
Online ISSN : 1349-6603
Print ISSN : 0387-0200
ISSN-L : 0387-0200
レーザーオリジナル
半導体レーザーの自己結合効果を用いた微小振動センサ
名和 靖彦, 津田 紀生, 山田 諄
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2009 年 37 巻 8 号 p. 619-623

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抄録
In developing automation in processes, a demand for compact and sensitive sensors is increasing. Small
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© 2009 一般社団法人 レーザー学会
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