低誘電率(low-<i>k</i>)材料の EELS による局所構造解析

まてりあ

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Print ISSN : 1340-2625
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(c) 分光・分析法の高度化による新展開

低誘電率(low-k)材料の EELS による局所構造解析

大塚祐二, 川崎直彦, 清水夕美子, 小川真一

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2009 年 48 巻 12 号 p. 637

DOI https://doi.org/10.2320/materia.48.637

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