プラズマ陰極イオン源の開発

日本金属学会会報

Online ISSN : 1884-5835
Print ISSN : 0021-4426
ISSN-L : 0021-4426

プラズマ陰極イオン源の開発

矢部栄二, 高山一男

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ジャーナルフリー

1989 年 28 巻 11 号 p. 890-891

DOI https://doi.org/10.2320/materia1962.28.890

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