原子層のSi酸化膜を用いたナノ構造形成

まてりあ

Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
ISSN-L : 1340-2625

原子層のSi酸化膜を用いたナノ構造形成

市川昌和

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ジャーナルフリー

1998 年 37 巻 11 号 p. 931-937

DOI https://doi.org/10.2320/materia.37.931

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