マイクロ液体から直接に薄膜デバイスを形成する技術-マイクロ液体プロセス

まてりあ

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マイクロ液体から直接に薄膜デバイスを形成する技術-マイクロ液体プロセス

2. 無機薄膜への適用と興味ある応用

下田達也

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ジャーナルフリー

2005 年 44 巻 5 号 p. 411-418

DOI https://doi.org/10.2320/materia.44.411

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