微小半導体発光素子と周辺技術

抄録

半導体微小発光素子は, 性能, 機能, 集積性など様々な面で従来の素子を凌駕する特長をもち, 近年, 研究が活発化している。またこのような素子を利用するために, 多彩な周辺技術が利用されようとしている。本研究では, 次世代の微小発光素子として注目されているディスク共振器とフォトニッ ク結晶を採り上げた。前者については得られた高性能レーザ特性と応用技術を, 後者については研究の現状と今後の発展性について述べる。また周辺技術として, 簡単なマイクロマシーンプロセスを利用した光偏向素子を試作しており, その工程と動作特性も併せて紹介する。