感光性高分子材料

抄録

印刷製版用材料として用いられていた感光性高分子は, 金属の精密加工や超LSIなどの微細加工に利用されるようになり, 要求性能は飛躍的に高度, かつ複雑となってきた。これらに対応するため数多くの材料が開発され, 新しい光化学反応を高分子に組込むことにより高性能化を図る研究もたゆみなく行われている。ここでは感光性高分子に利用される主な光反応と, それを用いた具体的な材料の設計例などについて概括的に記述する。