金属被膜シリコンマイクロキャビティのふく射スペクトルに対する表面粗さの影響

抄録

熱光発電では，ふく射スペクトルと光電素子のバンドギャップが整合しないため，選択的ふく射体によりふく射スペクトルを制御する必要がある．そのため，マイクロキャビティの利用が検討されているが，内壁に生じる面荒れの影響は不明である．そこで，本研究では，異なるシリコン加工法，金属蒸着法を用いることで内壁の表面粗さの異なるマイクロキャビティを試作し，ふく射スペクトル制御特性に及ぼす影響について検討した．