ナノ熱プローブセンサの作製手法と伝熱解析

抄録

我々はカーボンナノチューブ(CNT)やSiCナノワイヤ(NW)の優れた熱的、機械的特性を生かしたナノ熱プローブセンサを考案した。このセンサは藤井らによって開発されたT字一体型ナノセンサを応用したもので、非常に困難とされる単一のNW熱伝導率計測が可能であるだけでなく、ナノスケールの表面温度センシング、物質内部の熱物性計測や局所加熱を実現する可能性を秘めている。今回MEMS技術を用いたセンサの作製手法及び理論解析によるセンサの伝熱特性について報告する。