水溶液中における電気化学的な方法により作製したYSZ薄膜

抄録

近年、YSZ薄膜は耐熱性や導電性を示し多くの応用が期待されている。この薄膜化においてはより低コスト、低環境負荷での方法が必要とされている。また、大面積への均一な薄膜化における過程を制御することは今後の薄膜化技術において有益だと考えられる。本研究ではYSZ前駆体溶液から電気化学法を利用しガラス基板にYSZ薄膜を積層させることを目的とする。