抄録
ナノ・マイクロ微粒子単独あるいはその規則集積体において、バルク体には見られない新機能が発現することから、粒子集積体の作製・粒子ハンドリング技術が注目されている。粒子集積体によりフォトニック結晶を目指した場合、任意に粒子集積体を２次元・３次元パターン化し、複雑な構造体を作製するプロセスの開発が必要である。さらに特性向上のためには、作製した集積体の構造・欠陥の評価方法の開発が望まれる。本研究では、新規プロセス “二溶液法” を提案し、“粒子球状集積体の作製およびそのパターニング”を初めて実現した。さらに、既存構造体を上回るパターン解像度を有する“高規則性粒子集積体２次元パターン”を実現した。また、これらの粒子集積構造体を結晶に見立て、２次元パターンの結晶構造・格子間隔の解析から形成過程を評価し、粒子球状集積体表面の線欠陥の定量評価から構造体およびプロセスを評価した。
