スクリ-ン印刷法によるBi₄Ti₃O₁₂系厚膜の作製

抄録

Bi4Ti3O12は、非鉛系の圧電材料としてキュリー点が高く比較的圧電性が大きいため、高温用センサー等への応用が期待されている。一方スクリーン印刷法は，厚み数10μmの厚膜パターンが容易に形成できるため、マイクロセンサ素子や小型電子部品等の作製に有効である。ここでは、Bi4Ti3O12粉末を用いて作製したペーストをスクリーン印刷し焼成することにより形成された厚膜について、過剰Bi2O3量と微細構造および電気特性の関係をバルク焼結体と比較して検討した。インピ_-_ダンスアナライザにて誘電率を測定し、強誘電体評価システムにてＰ_-_Ｅヒステシスを測定した。