オゾン処理した溶液からのITO薄膜の合成

抄録

太陽電池用透明電極薄膜は300℃以下の低温形成が望まれているが，ゾルゲル法などの溶液法での薄膜形成は500℃以上が必要であった。そこで，我々は，300℃以下で結晶質ITO薄膜を得るための新規前駆体溶液の調製を試み，200℃で結晶化する前駆体の開発に成功した。本研究では，新規ITO前駆体溶液の調製条件，結晶化過程および電気伝導度を検討した。新規前駆体溶液の調製条件は，塩化インジウム及び塩化スズのエタノール溶液にオゾンガスを通気した後，pH6.5となるまでアンモニアを添加し，得られた沈殿物を80℃で保持することであった。前駆体と用いて形成したITO薄膜は200℃で結晶化することが分かった。電気伝導度は加熱処理温度の増加に伴い増加した。