エアロゾルデポジションによる大面積膜の表面形状

抄録

LSI上に光配線を実現するために、シリコンウエハー上にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の膜をエアロゾルデポジションによって作製した。ウエハーサイズは大きくなりつつあり、ノズルをスキャンして成膜する必要がある。そこで、ノズルのスキャニングが表面の形状におよぼす影響を実験的に検討した。末広がりビームとストレートビームを比較した。末広がりビームは単ピークの膜を作り、ストレートビームはプラトー状の膜を作る。末広がりビームはスキャニングの影響がはっきり認められる表面であったが、ストレートビームははっきりとは認められなかった。表面粗さは、末広がりビームの方が小さく、巨視的なムラも小さかった。