ナノインデンテーション挙動の数値解析による薄膜の力学的特性評価

抄録

先端の鋭い圧子を用いたナノインデンテーションで基板上薄膜の機械的特性を評価する方法を開発した。具体的には、有限要素法で様々な特性の薄膜と基板の組合せに対するインデンテーションをシミュレートし、薄膜の機械的特性とインデンテーション挙動を結びつける近似式を見出した。圧子周囲の変形も相対残留深さで整理できることも見出した。