CSD法(Ba, Sr)TiO₃ 薄膜の特性に及ぼす前駆体の影響

抄録

チタン酸バリウムストロンチウム(Ba,Sr)TiO₃ (BST)は、BaとSrの組成比を変化させることで、キュリー温度の室温方向へのシフト、室温における誘電率の増加、誘電分散の抑制が可能となる。またBSTは直流バイアス電圧の印加により、誘電特性を制御できるというチューナビリティ特性も有する。このためBST薄膜は高誘電キャパシタやチューナブルキャパシタへの応用が期待されている。そこで本研究は、 部分加水分解法を用いて前駆体溶液を調製し、CSD法(化学溶液法)でBST薄膜の作製を試みた。また電気特性に及ぼすニッケル酸ランタンLaNiO₃(LNO)シード層の影響を調査した。