荷重下における炭化ケイ素の焼結収縮挙動のその場測定とマスターシンタリングカーブ理論による解析

抄録

一般的に、焼成時に試料に温度分布が生じると、収縮が不均一に起こり密度も不均一になる。そうなると、場所によって収縮率・収縮速度が異なってくるため、内部応力が発生し試料が変形する。このとき試料全体の変形は焼結収縮による変形と内部応力による変形の和で表される。すなわち、焼成中の変形をシミュレーションするためには、応力負荷時の焼結収縮挙動の評価と解析が重要である。マスターシンタリングカーブ(MSC)理論は昇温プロファイルによらない焼結収縮挙動を解析できる点で優れている。そこで本研究では、荷重負荷時の炭化ケイ素の焼結収縮挙動をその場測定し、得られた焼結収縮挙動をMSC理論によって解析を行った。