プラズマ利用技術の基礎(I)

溶接学会誌

Online ISSN : 1883-7204
Print ISSN : 0021-4787
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プラズマ利用技術の基礎(I)

プロセスプラズマの性質とその生成―プロセスプラズマ入門―

牛尾誠夫

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キーワード: プラズマ, プラズマ化学, 解離, 電離, 局所熱平衡, プラズマプロセス

ジャーナルフリー

1991 年 60 巻 3 号 p. 182-187

DOI https://doi.org/10.2207/qjjws1943.60.182

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