化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第39回秋季大会
セッションID: Z207
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シンポジウム <実装プロセス工学> (Z206-Z209, Z213-Z221)
ゾル‐ゲル法による高誘電性薄膜の新規低温合成法の開発
*齋藤 博文長尾 大輔今野 幹男
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© 2007 社団法人 化学工学会
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