化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第73年会
セッションID: Q206
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

材料・界面
水溶液中の固体表面間の摩擦力・磨耗の原子間力顕微鏡を用いた評価
*寺本 直史, vakarelski I, 新戸 浩幸, 東谷 公
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キーワード: AFM, CMP, wear
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© 2008 社団法人　化学工学会
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