化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第75年会
セッションID: G207
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光誘起重合相分離によるフレキシブル低誘電率膜形成過程における溶液粘度の影響
*瀧 健太郎, 熊谷 拓也, 長嶺 信輔, 大嶋 正裕
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キーワード: low-k, photopolymerization, UV
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