化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: J206
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主催: 化学工学会

プラズマCVDにおける活性種生成がカーボンナノチューブ合成に及ぼす影響
*野崎 智洋, 吉田 晋平, 唐津 拓也, 岡崎 健
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キーワード: Carbon nanotube, PECVD, Radical
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