化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N306
会議情報

主催: 化学工学会

減圧熱CVD法により作製した酸化亜鉛と二酸化スズ薄膜の電気特性
*今 大輔, 羽柴 和人, 秋山 泰伸
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キーワード: LPCVD, Zinc oxide, Tin oxide
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