化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N322
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主催: 化学工学会

大型反応器でのGaAs選択MOVPE成長の解析と制御
前代 武瑠, 市川 磨, 秦 雅彦, 杉山 正和, 中野 義昭, *霜垣 幸浩
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キーワード: GaAs, MOVPE, large scale reactor
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