計測自動制御学会　部門大会／部門学術講演会資料
第19回センシングフォーラム
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主催: (社）計測自動制御学会計測部門

非冷却赤外線イメージセンサ
木股 雅章
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キーワード: 熱型赤外線検出器, イメージセンサ, マイクロボロメータ, 強誘電体, SOI
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p. 9

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