ERF（電気粘性流体）を応用した高機能マイクロアクチュエータ

計測と制御

Online ISSN : 1883-8170
Print ISSN : 0453-4662
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ERF（電気粘性流体）を応用した高機能マイクロアクチュエータ

吉田和弘

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キーワード: 機能性流体, ERF, マイクロアクチュエータ, ソフトアクチュエータ, MEMS

ジャーナルフリー

2018 年 57 巻 11 号 p. 780-785

DOI https://doi.org/10.11499/sicejl.57.780

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© 2018 公益社団法人　計測自動制御学会

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