真空マイクロデバイスへの応用

計測と制御

Online ISSN : 1883-8170
Print ISSN : 0453-4662
ISSN-L : 0453-4662

真空マイクロデバイスへの応用

浅野種正

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キーワード: 真空マイクロエレクトロニクス, 電界電子放射, 超高速素子, フラットパネルディスプレイ, トンネルセンサ

ジャーナルフリー

1992 年 31 巻 6 号 p. 670-675

DOI https://doi.org/10.11499/sicejl1962.31.670

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