精密位置サーボ系

計測と制御

Online ISSN : 1883-8170
Print ISSN : 0453-4662
ISSN-L : 0453-4662

精密位置サーボ系

二見茂

著者情報

キーワード: サーボ系, 精密 (ナノメータ) 位置制御, 機械システム, フルクローズドループ制御, セミクローズドループ制御, 2慣性系

ジャーナルフリー

2000 年 39 巻 10 号 p. 659-662

DOI https://doi.org/10.11499/sicejl1962.39.659

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 社団法人計測自動制御学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

Top