計測自動制御学会論文集
Online ISSN : 1883-8189
Print ISSN : 0453-4654
ISSN-L : 0453-4654
二光束干渉顕微鏡を用いる超精密面の粗さ測定法
安達 正明, 八坂 勝彦, 川口 格
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1986 年 22 巻 10 号 p. 1124-1126

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