計測自動制御学会論文集
Online ISSN : 1883-8189
Print ISSN : 0453-4654
ISSN-L : 0453-4654
放電によって形成される微小球径のレーザー回折を使った迅速計測
大沢 敏彦, 尾崎 忠男
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1988 年 24 巻 7 号 p. 753-754

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抄録
Small ball which has several nanometers in diameter is generated at the tip of fine gold wire. The ball size is measured in process just after formation in bonding process of IC fabrication.
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© 社団法人 計測自動制御学会
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