計測自動制御学会論文集
Online ISSN : 1883-8189
Print ISSN : 0453-4654
ISSN-L : 0453-4654
ゾーンプレート干渉計によるオンマシン計測
小林 富美男野村 俊吉川 和男田代 発造鈴木 正根薄木 雅雄
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1992 年 28 巻 1 号 p. 164-165

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抄録
A proposed measurement is based on a zone-plate interferometry and secure a considerably high degree of stability for fringes even with the vibration of the machine or the disturbance of the air. The experiment shows that the zone-plate interferometer is suitable for on-machine profile measurement.
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