変調分子線散乱による有機薄膜蒸着基礎過程の解明

抄録

有機半導体の蒸着膜作製プロセスは高性能プラスチックエレクトロニクス素子の実現のために重要である。有機半導体分子の分子線をパルス化し、基板表面に照射する実験により、分子のマイグレーション、脱離、結晶核形成など、薄膜成長の基礎過程を明らかにする研究を行っている。この発表では、脱離分子の時間プロファイルを測定し、ステップの影響や表面化学修飾を行った基板の効果について得られた情報を報告する。