主催: 日本表面科学会
東大理
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有機半導体の蒸着膜作製プロセスは高性能プラスチックエレクトロニクス素子の実現のために重要である。有機半導体分子の分子線をパルス化し、基板表面に照射する実験により、分子のマイグレーション、脱離、結晶核形成など、薄膜成長の基礎過程を明らかにする研究を行っている。この発表では、脱離分子の時間プロファイルを測定し、ステップの影響や表面化学修飾を行った基板の効果について得られた情報を報告する。
日本表面真空学会学術講演会要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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