Grignard試薬の電気化学的酸化によるSi単結晶表面上への有機単分子層形成

抄録

　水素終端化Si表面上へSi-C結合を介して構築した有機単分子層は、配向性及び安定性に優れていることから新しい機能デバイスの構築への応用が期待される。
本研究ではGrignard試薬の電気化学的酸化による有機単分子層形成についてX線光電子分光法(XPS)、エリプソメトリーを用いて検討を行った。また光電気化学法により有機単分子層のマイクロパターニングを試みた。